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电子级二氯二氢硅用途
电子级二氯二氢硅用途
来源：五一七教育网
生产12寸硅外延片。电子级二氯二氢硅主要用于生产12寸硅外延片，也应用于逻辑芯片和存储芯片及硅基前驱体等领域。
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