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专利名称：一种硅基底薄膜的制备方法专利类型：发明专利发明人：郑泉水,柏帆
申请号：CN202010596546.3申请日：20200628公开号：CN1112013A公开日：20201106
摘要：本发明提供一种硅基底薄膜的制备方法，在硅基底上涂布光刻胶，在涂胶面预先开槽，控制槽的深度和宽度，并利用酸溶液进行平整化处理，待硅基底毛边处理干净之后去胶、清洗、烘干、镀膜，再用薄金刚石刀片，沿着预开槽的中心线将硅基底完全切开，获得完整的硅基底薄膜，边缘无破损。
申请人：深圳清华大学研究院,清华大学
地址：518057 广东省深圳市南山区科技园高新南七道深圳清华大学研究院
国籍：CN
代理机构：深圳市惠邦知识产权代理事务所
代理人：满群
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