型号 SEC-E40 标准流量 100CCM~10LM 工作压差 50kPa~300kPa(0.5~3.0kgf/cm2G)
100kPa~300kPa(1.0~3.0kgf/cm2G) 控制范围 2~100% F.S. 精度 线性度 重复性 响应
±1%F.S.以内 ±0.5%F.S.以内 ±0.2%F.S.以内 1秒以内
SEC-E50 10LM~30LM
100kPa~300kPa(1.0~3.0kgf/cm2G)
耐压 1000kPa(10kgf/cm2G) 材料 PTFE 工作温度 5~50℃ 精度保证温度 15~35℃ 漏率
1×10-8Pa.m3/s(He)以下
1×10-7atm.cc/sec(He)以下
设定电压 0.1~5VDC 输出电压 0~5VDC 电源 +15VDC±5% 50mA
-15VDC±5% 150mA 构造
信号连接 D-型 9针接头 接壳部 9/16-18UNF 气路接头 1/4″Swagelok,1/4″VCR 付加机能
引脚号
1 2 3 4 5 6 7
流量输出：0~5VDC（最小负载阻抗2kΩ） 电源+15V 电源公共地 电源-15V
设定电压0.25~5VDC(输入阻抗1kΩ以上) 信号地
信号名称
+15VDC±5% 50mA -15VDC±5% 200mA
8 9 NC
型号 BROOKS 5850E 标准流量 3SCCM~30LM（N2） 精度 重复性
±1%F.S.以内
±1.5%F.S.以内(大于20slpm量程) ±0.25%
工作压差 50kPa~300kPa(0.5~3.0kgf/cm2G) 控制范围 2~100% F.S. 线性度 响应
±0.5%F.S.以内 1秒以内
耐压 1000kPa(10kgf/cm2G) 材料 PTFE 工作温度 5~50℃ 精度保证温度 15~35℃ 漏率
1×10-8Pa.m3/s(He)以下
1×10-7atm.cc/sec(He)以下
设定电压 0.1~5VDC 输出电压 0~5VDC 电源 +15VDC±5% 50mA
-15VDC±5% 150mA 构造
信号连接 D-型 9针接头 接壳部 9/16-18UNF 气路接头 1/4″Swagelok,1/4″VCR 付加机能
+15VDC±5% 50mA -15VDC±5% 200mA