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专利名称：光刻机照明光源的描述方法专利类型：发明专利
发明人：杨朝兴,王向朝,李思坤申请号：CN201410160574.5申请日：20140421公开号：CN103926803A公开日：20140716
摘要：一种光刻机照明光源的描述方法。该方法通过一组相互重叠的圆形子照明光源的坐标和光强等参数描述光刻机照明光源。本发明减少了描述光刻机照明光源所需的变量数量，提高了获得最优光刻机照明光源的速度。
申请人：中国科学院上海光学精密机械研究所
地址：201800 上海市嘉定区上海800-211
国籍：CN
代理机构：上海新天专利代理有限公司
代理人：张泽纯
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